瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計 壓力計 - MTCS2300系列

  • 瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計 壓力計
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不受安裝位置影響
尺寸小,抗沖擊能力強(>1000 G)
耐腐蝕性氣體,如氫氣,使用金觸點

產品型號:
MTCS2300系列
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產品介紹

瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計 壓力計 MTCS2300 描述:

MTCS2300壓力計是專用MEMS器件,根據皮拉尼原理進行熱導率測量,為小型TO8或TO39封裝。

該傳感器采用鎳鉑電阻MEMS技術, 將一個大微機械低應力氮化硅膜、兩個加熱用薄膜電阻以及體硅上的兩個補償用參考電阻,集成在微型封裝中。

此MEMS結構結合了用于電源和溫度分析的簡單CMOS標準集成電路,是要求超低功耗、出色信噪比以及耐腐蝕氣體的尺寸關鍵真空OEM傳感解決方案的合適之選。



瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計 壓力計 MTCS2300 特點:
擴展測量范圍 10-4 ~ 1000 mbar
傳感器幾何結構和傳感器電阻完美匹配的MEMS微機械硅傳感器
< 0.1 cm3的超小傳感器氣體體積
皮拉尼微導線到墻的距離由硅微機械調節,可降至10 μm 或 20 μm ,具有優異的傳感器重復性
采用帶250 Ohms大集成電阻和小加熱元件的MEMS硅傳感器,因此具有超低運行功耗(< 6 mW)
超快響應時間 < 50 ms
由于相似的加熱電阻和參考電阻,在微型結構的鉑鎳薄膜工藝中輕松實現了溫度補償
不受安裝位置影響
尺寸小,抗沖擊能力強(>1000 G)
耐腐蝕性氣體,如氫氣,使用金觸點


瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計 壓力計 MTCS2300 應用:
泄露檢測
推進裝置
半導體制造(如濺射室)
冷凍干燥機
真空肉類包裝機
真空鍍膜
負載鎖


通常,基于皮拉尼原理,在功率和尺寸受限的惡劣環境中進行壓力測量,例如分便攜式析儀器,小型機械泵系統



瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計 壓力計 MTCS2300 參數:


瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 微型皮拉尼真空計 壓力計 MTCS2300  選型:

訂購信息

MTCS230X

X = 1 : MTCS2301 = Al觸點

X = 2 : MTCS2302 = Au觸點

型號

說明

MTCS230X-0

只有一個傳感芯片,無硅蓋,TO8封裝

MTCS230X-10

帶10 μm氣隙蓋的傳感芯片,TO8封裝

MTCS230X-20

帶20 μm氣隙蓋的傳感芯片,TO8封裝



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