瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器 - MTCS2200系列

  • 瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器
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硅微機械傳感器,尺寸極小 (3.5 x 3.5 mm2) ,適用于微型氣體體積 (20 mm3)
短時間常數(膜時間常數 <5 ms)
低功率、高靈敏度以及最小加熱功率(< 6 mW)
不受流量影響

產品型號:
MTCS2200系列
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產品介紹

瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器  MTCS2200系列 描述:

熱導式氣體傳感器采用薄膜沉積和硅微機械加工技術在硅片上制成。該裝置可測定二元或三元氣體混合物的氣體濃度。

該傳感器由一個集成加熱器組成,該加熱器位于絕緣隔熱膜上。兩個薄膜電阻用于加熱和測量膜的溫度[Tm]。兩個參考電阻集成在膜旁邊的硅片上,以補償環境溫度變化。這四個電阻經過鈍化,以防止受到氣體的影響,并通過金絲鍵合與TO8或TO5底座進行電氣連接。

傳感器附在硅支架上,該支架還允許與膜下方進行氣體交換。膜上方或下方是由一個在硅中各向異性蝕刻的腔組成的微型結構。由此在膜與較冷部分之間形成的中空部分是氣體熱導測量部分。測量氣體通過側面開口擴散到加熱膜上方的空腔內,進而防止氣流擾動。傳感器的熱傳遞取決于膜周圍氣體的熱導率。此類傳感器通常采用恒流電路來測量氣體。氣體濃度與溫度差異[δT=Tm– Tamb] 直接相關,該差異通過測量電功率變化測得。


瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器  MTCS2200系列 特點:

硅微機械傳感器,尺寸極小 (3.5 x 3.5 mm2) ,適用于微型氣體體積 (20 mm3)
短時間常數(膜時間常數 <5 ms)
低功率、高靈敏度以及zui小加熱功率(< 6 mW)
不受流量影響
薄膜上的集成傳感電阻和溫度補償電阻
可靠且一致的靈敏度性能
由于批量制造工藝,傳感器規格差異小
線性輸出信號與目標氣體濃度
長期穩定運行
高機械阻力
無需現場維護


瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器  MTCS2200系列 應用:

工業:
通過測量二元混合物(Ar,N2中的H2)或準二元混合物(空氣中的H2,He或 CO2)的熱導率來測定氣體濃度
燃燒控制
監測天然氣中的CH4 濃度的氣體引擎控制
檢測氟利昂(
R-11;
R-12、R-21、R-22)、CFC或CF3 CH2 F氟乙烷(R-134或R-404)等制冷劑氣體的泄露監測冷卻系統
測量空氣中的氫氣(0-5%或更高濃度)、氦氣(0-5000 ppm)或氙氣
安全工業過程控制、園藝、食品儲存、發酵過程控制
微型真空裝置,如微型皮拉尼壓力真空計
基于導熱系數的空氣微型絕對濕度傳感器
飲料行業 (CO2 濃度)


家用:
安全、火警或室內空氣質量的CO2 安全監測 (0-4%)

檢測微波爐中的烹飪點


瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器  MTCS2200系列 參數:


瑞士Neroxis 熱導式氣體傳感器  MTCS2200系列 選型:

訂購信息

型號: MTCS 220X – Y - Z

X

Y

Z

1:雙元混合物

2:CH4

3:CO2

4:H2, He

5:CFC,氟利昂

6:Ar, Ne, N2, O2

1:TO5-4

2:TO8

3:TO5-(6+2)

1:鋁金屬化和引線鍵合

2:金金屬化和引線鍵合

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