瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計 熱導式傳感器 - MTCS2305

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擴展測量范圍10-5 ~ 1000 mbar
MEMS 微機械硅傳感器,傳感器的幾何結構與傳感器電阻完美匹配
< 0.1 cm3 的超小傳感器氣體體積

產品型號:
MTCS2305
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產品介紹

瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計 熱導式傳感器 MTCS2305 描述:

MTCS2305壓力計根據皮拉尼原理采用熱導率測量,是專用MEMS裝置,為小型TO39封裝。該傳感器采用鎳鉑電阻MEMS技術,將一個大型微機械低應力氮化硅膜、兩個加熱用薄膜電阻以及體硅上的兩個補償用參考電阻,集成在微型封裝中。此MEMS結構結合了用于電源和溫度分析的簡單CMOS標準集成電路,適用于要求超低功耗、出色信噪比以及耐腐蝕氣體的尺寸關鍵真空OEM傳感解決方案。


瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計 熱導式傳感器 MTCS2305 特性:
傳感器有3項可選的封裝選項:
僅傳感芯片,實現空氣中微型熱線(MTCS2305-0)
帶硅蓋的傳感芯片 (MTCS2305-20),在20 um(或10 um)的冷熱部分之間創造一個間隙。這種小間隙提高了皮拉尼原
理在100 – 1000 mbar壓力下的靈敏度。


瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計 熱導式傳感器 MTCS2305 特點:
擴展測量范圍10-5 ~ 1000 mbar
MEMS 微機械硅傳感器,傳感器的幾何結構與傳感器電阻完美匹配
< 0.1 cm3 的超小傳感器氣體體積
皮拉尼微導線到墻的距離由硅微機械調節,下限為10 μm (MTCS2305-10) 或 20 μm (MTCS2305-20) ,具有優異的傳感器重復性
采用具有大集成電阻(如250 Ohms)和小加熱質量的MEMS硅傳感器,具有超低運行功耗(< 5 mA @ 5V)
超快響應時間< 30 ms ,電子帶寬 >100 Hz
由于相似的加熱電阻和參考電阻,在微型結構的鉑鎳薄膜工藝中輕松實現了溫度補償
不受安裝位置影響
尺寸小,抗沖擊能力強 (>1000 G)
采用金觸點,耐腐蝕性氣體,如氫氣


瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計 熱導式傳感器 MTCS2305 應用:
泄露檢測、推進、半導體制造(例如,濺射室),凍結干燥器、真空肉類包裝機、真空鍍膜和負載鎖。通常,在功率和尺寸受限的惡劣環境下,按照皮拉尼原理進行壓力測量 ,例如分析便攜式儀器或小型機械泵系統


瑞士Neroxis 微型皮拉尼真空計 熱導式傳感器 MTCS2305 選型:

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